電子廠涉及到的行業(yè)很多，不同行業(yè)在工藝上有一定差異，產(chǎn)生的廢氣種類也有一定的差異，今天就從半導(dǎo)體行業(yè)入手為大家介紹電子廠廢氣處理。電子廠半導(dǎo)體廢氣的處理主要針對半導(dǎo)體行業(yè)有機廢氣和毒性氣體的治理，我們嘗試使用低溫等離子廢氣處理技術(shù)。半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生的有機廢氣，主要可以分為，半導(dǎo)體制造工藝產(chǎn)生的有機廢氣，和半導(dǎo)體封裝工藝產(chǎn)生的有機廢氣。
1、廠家處理有機廢氣和毒氣的處理方法
現(xiàn)在，半導(dǎo)體制造過程中排放的含有有機成分的廢氣(voc)通常采用直接焚燒、活性炭吸附、生物氧化等方法進行處理。
2、針對電子廠廢氣處理半導(dǎo)體行業(yè)有機廢氣和毒性氣體的治理，低溫等離子廢氣處理技術(shù)的凈化原理是：
將普通的220V/380V交流電通過變壓器，變頻器轉(zhuǎn)換為高頻高壓的電壓，產(chǎn)生足以擊穿氣體的電壓，釋放出高能電子，高能電子破壞有機廢氣中的氣體分子之間的化學(xué)鍵，斷開這些化學(xué)鍵從而產(chǎn)生了各種碳原子、氧原子、氫原子、氫氧自由基、臭氧等混合體，等離子體中的氧原子和碳原子結(jié)合形成二氧化碳，氧原子和氫原子結(jié)合形成水分子，最終產(chǎn)生排放到大氣中的氣體為無污染的二氧化碳（CO2）和水(H2O)。
3、電子廠廢氣處理低溫等離子廢氣處理技術(shù)具有以下優(yōu)點：
放電產(chǎn)生的低溫等離子體中，電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。
反應(yīng)快，不受氣速限制。
采用防腐蝕材料。
只需用電，操作極為簡單。
設(shè)備啟動、停止十分迅速，隨用隨開，常溫常壓下即能使用。
氣阻小，適用于大風(fēng)量的廢氣處理。
4、電子廠廢氣處理低溫等離子廢氣處理技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域：集成電路生產(chǎn)企業(yè)、分立器件生產(chǎn)企業(yè)、光電組件生產(chǎn)企業(yè)。
5、半導(dǎo)體企業(yè)廢氣排放特征分析
半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。
6、半導(dǎo)體行業(yè)有機廢氣和毒氣的來源
半導(dǎo)體制造工藝產(chǎn)生的揮發(fā)性有機廢氣，主要來源于光刻、顯影、刻蝕及擴散等工序
與半導(dǎo)體制造工藝相比，半導(dǎo)體封裝工藝產(chǎn)生的有機廢氣較為簡單，主要為晶粒粘貼、封膠后烘烤過程產(chǎn)生的烘烤廢氣。
含毒氣性廢氣，其來源為化學(xué)氣相沉積、干蝕刻機、擴散、離子布值機及磊晶等制程時所產(chǎn)生。主要成分是磷化氫等。
